技术编号：7209330
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有改善的装置特性的光敏二极管阵列。具体地讲，本发明涉及可制作在薄有源层(例如，外延的或薄的直接结合的层)上的具有鱼骨形结构的光敏二极管装置。更具体地讲，本发明涉及具有减小的结电容、减小的暗电流和改善的信号噪声比的光敏二极管阵列。背景技术传统的计算X射线断层摄影(computed tomography, CT)扫描器和数字式X射线照相系统采用大量(几百至几千的数量级)的X射线检测器，其中每个X射线检测器都包括将X射线转换成光的闪烁器和将光转换成电...
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