技术编号：7209555
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及ESD保护器件及其制造方法，具体而言，涉及使在绝缘性基板的空洞部内将放电电极相对配置的ESD保护器件的ESD特性及可靠性得以提高的技术。背景技术所谓ESD (Electro-Matic Discharge 静电放电)，是指当带电的导电性物体(人体等)与其他导电性物体(电子设备等)接触或充分接近时产生剧烈放电的现象。电子设备会因ESD而产生损伤、误动作等问题。为了防止这种情况，需要使放电时产生的过大电压不会施加到电子设备的电路上。使用于这种用途的是...
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