技术编号:7209568
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种应用于例如半导体制造系统中使用的高频供电电路中的真空电容器,并且涉及一种其中固定电极和可动电极布置于真空外壳中并且其电容值可变的可变型真空电容器。背景技术很多真空电容器应用于例如半导体制造系统中使用的高频供电电路中。在将真空电容器按其结构宽泛地归类时,有两种类型的真空电容器电容值固定的固定型真空电容器以及电容值可变的可变型真空电容器(例如,专利文献1 3)。作为可变型真空电容器的例子,已知一种电容器,其中固定电极和可动电极布置于真空外壳中并且...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。