具有增大的击穿电压特性的基于沟槽的功率半导体器件的制作方法技术资料下载

技术编号:7209645

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具有增大的击穿电压特性的基于沟槽的功率半导体器件相关申请的引用本申请要求于2008年12月8日提交的美国临时专利申请No. 61/120818的权益, 将其全部内容结合于此供参考。背景技术示例性功率半导体器件(功率半导体装置,power semiconductor device)包括平面栅MOSFET晶体管、垂直栅MOSFET晶体管、绝缘栅双极晶体管(IGBT)、整流管和同步整流管。这些器件的槽栅多样性的典型实施包括在半导体芯片(裸芯片,die)顶面上形成...
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