技术编号:7209688
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种常温接合装置,特别是使用常温接合而大量生产制品的常温接合直O背景技术公知的MEMS是把微细的电气部品或机械部品集成化。以微型继电器、压力传感器、加速度传感器作为该MEMS的示例。公知的常温接合是,在真空环境下,活性化的晶片表面相互接触,两片晶片接合。这样的常温接合适合该MEMS的制作。这样的常温接合中,防止污染晶片的接合面是非常重要的。另外,必须提高该常温接合的常温接合装置的量产性, 提高信赖性,降低成本,小型化,减少维修。专利第397030...
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