卷轴装置和利用其的薄膜装载装置的制作方法技术资料下载

技术编号:7210103

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本发明涉及供给卷轴和卷收卷轴在同心轴上呈两列布置的卷轴装置和利用这种卷轴装置的薄膜装载装置。背景技术通常,薄膜装载装置的作用在于将卷绕在卷轴上的薄膜提供给下一道工序。这种薄膜装载装置应用于各种场合,作为一例,利用于封装系统(potting system),该封装系统用于在薄膜上固定半导体的步骤,即ILBdrmer Lead Bonding,内部引线接合)工序。 这种在半导体薄膜(覆晶薄膜(COP Chip On Film)或带载体封装(TCP Tape C...
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