技术编号：7210523
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及通过安装在无限驱动介质上的搬运器来搬送半导体基板等的搬送系统，特别涉及在保持半导体基板等物品的搬运器与站的机械手之间的物品的交接。背景技术在专利文献1 (US7234584)中，在环形带上安装有多个搬运器并使之环行。搬运器具有用于支撑半导体存储盒的凸缘等的支承面，通过站(station)的机械手将存储盒装载或卸载于搬运器。另外，设置用于检测搬运器的传感器和用于测定传送带的移动量的编码器，来控制机械手。在专利文献1中，通过传感器检测到搬运器后立即起...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。