技术编号:7210703
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明特别涉及一种用于热处理非晶或多晶硅膜使之多晶硅化的,热处理基板上形成的硅薄膜用的激光热处理用光学系统及其装置。液晶面板的象素部分,由在玻璃或合成石英基板上以非晶或多晶硅膜制作的开关薄膜晶体管构成。要是能在该面板上同时构成驱动象素晶体管的驱动电路(主要是独立设置于外部),在液晶面板的制造成本、可靠性等方面就有突出的优点了。然而现在,因为构成晶体管有源层的硅膜晶体性差,薄膜晶体管,象低迁移率所代表的那样性能差,要求高速、高性能的集成电路制作就困难了。硅膜...
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