技术编号:7210950
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及金刚石,是一种。 背景技术用金刚石制作晶体管或二极管一直是本领域研究的重要课题之一,而金刚石器 件在工业上的应用首先要求有较好的导电性能。但熹,工业生产上在金刚石表面制 作导电膜是较难实现的,多年以来一直没有一种能够工业上应用的方法。为此,申 请人研究了一种用弧光放电等离子体化学气相沉淀法在金刚石制备半导体材料的方 法,这种方法有较多优点,但是,经过使用发现存在的主要不足是在直径大于5 厘米的金刚石表面上制做半导体导电膜是非常困难的,制造时设备的...
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