技术编号:7211378
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于防止无用放电的电极结构的大气压等离子体发生装置,更详细地说,涉及一种通过在电极与电介质之间隔开间隔并在第1电极与电介质之间填充液体电介质,从而防止无用放电的产生的大气压等离子体电极结构。背景技术 等离子体发生装置通过在两个电极间引起放电并使注入其间的气体离子化而产生等离子体。这样形成的等离子容易进行化学反应,因而被用于有机污染物的清洗及表面处理等工序。最近,正在受人瞩目的大气压等离子体发生装置,由于不需要现有的真空系统,在1个大气压(760t...
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