技术编号:7211400
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体元件,且特别是涉及一种垂直薄膜晶体管的制造 方法。背景技术随着技术的成熟,更轻、更薄、可携带、可挠曲的显示器如电子纸张已 经吸引众多人的注意,许多大公司也纷纷加入研发行列。有机薄膜晶体管大优点在于元件可以在低温下制作,并且在面板弯曲时晶体管元件特性仍能 维持,达到正常的显像质量效果,这种应用将可加速可挠式电子产品如显示 器的实现。垂直结构的有机薄膜晶体管的优点在于其可以有较高的迁移率(Mobility),可用于比较高频的元件应用,而且有...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。