技术编号:7211465
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用结晶半导体薄膜来制造半导体器件的方法,特别是制造薄膜晶体管的方法。近来,对利用在玻璃或石英衬底上形成的半导体薄膜的晶体管的关注甚多。这种薄膜晶体管(TFT)是这样制造的,即在玻璃衬底或石英衬底的表面上形成厚度为几百至几千埃()的薄膜半导体,然后使用薄膜半导体形成晶体管(绝缘栅场效应晶体管)。TFT的应用范围例如是有源矩阵式液晶显示器件。有源矩阵式液晶显示器件具有布置成矩阵的几十万个象素,TFT被提供给每个象素作为开关元件,以此实现良好的和高速...
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