技术编号:7211768
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及平面电感。背景技术 随着20世纪80年代显微机械加工技术和微机电系统(MEMS)的引入,已经开发出了许多种机械致动方法。已经使用不同的致动方法和设计技术开发出了多种不同的微机械开关(微型开关)。许多微型开关的设计使用固-固触头的开关,其与大尺寸的机械开关具有一些相同的问题,例如开关触头的磨损和信号跳动。已经实现了各种液态金属微型开关的结构,这些结构之间的差异包括用于致动开关(例如移动液态金属滴或“块”)的机构、为开关装载液态金属的装置和技术以及制...
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