技术编号:7212211
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种液晶显示装置制备技术,特别涉及一种具有低阻抗导线结构的薄膜晶体管结构及液晶显示装置基板制备方法。背景技术 由于集成电路制作成本与元件操作速度的考虑,集成电路工艺技术已迈入特大规模集成电路(ULSI,ultra large scale integration)阶段,使得后段金属联机工艺朝向多层化及微细化发展。然而,伴随金属联机微细化工艺所产生的问题,首先面临的是,金属导线间介电层产生的电容效应而造成信号传递速度下降的问题。电路信号传递的快慢是决...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。