技术编号:7212437
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,且特别涉及一种通过多重穿透式掩膜(multi tone mask)来制造主动组件阵列基板的方法。背景技术 现今社会多媒体技术相当发达,多半受惠于半导体组件或显示装置的进步。就显示器而言,具有高画质、空间利用效率佳、低消耗功率、无辐射等优越特性的薄膜晶体管液晶显示器已逐渐成为市场的主流。薄膜晶体管液晶显示器主要是由一薄膜晶体管阵列基板、一彩色滤光基板与一夹于两基板之间的液晶层所构成。一般来说,传统薄膜晶体管阵列基板的制造方法需通过五道掩膜工艺...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。