技术编号:7212860
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种激光束、紫外线照射周边曝光装置及方法,该装置及方法对在基板的图案区域的周围形成的周边区域照射激光束,从而对记号、文字等的识别标记进行曝光(做标记),同时,对周边区域照射包含紫外线的光以进行周边曝光。背景技术 一般而言,关于在曝光装置中图案将被曝光的基板,例如在液晶基板中,当时是对大约500mm×500mm的尺寸的基板进行处理,现在是对放大至2160mm×2460mm这样的大型尺寸的基板进行处理。从该大型的基板切断、分离成预设的各个基板片,以制...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。