技术编号：7212864
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在支持体之上层叠导电膜及磁性膜的薄膜器件及在支持体之上层叠线圈及磁性膜的薄膜电感器。背景技术 (当说明背景技术时，由于相比于“导电膜”和“磁性膜”，所谓“支持体”的称谓过于宽泛，所以仅通过下述第1行所列举“支持体”的一个例子(基板)，记载为“基板等的支持体”。)近年来，在各种用途的器件领域中，广泛利用在基板等的支持体之上层叠导电膜及磁性膜的薄膜器件。作为此薄膜器件的一个例子，作为上述导电膜，可列举出具备电感发生用的线圈的薄膜电感器等。此薄膜电...
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