技术编号：7212872
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及膜图案形成方法、器件、电光学装置以及电子机器。背景技术 作为形成使用于电子电路或集成电路等中的由规定图案构成的布线等的方法，例如，广泛利用光刻法(photolithography)。该光刻法需要真空装置、曝光装置等大规模的设备。并且，在上述装置中为了形成由规定图案构成的布线等，需要复杂的工序，另外材料使用效率也为几％左右而不得不废弃其大部分，有制造成本高的课题。对应与此，提出了从液体喷出头(header)以液滴状喷出液体材料的液滴喷出法，所谓的使...
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