含高掺杂隧道结的垂直腔面发射激光器的制作方法技术资料下载

技术编号:7212901

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本发明属于半导体光电子领域,特别是指 一 种含高掺杂隧道结的高功率、高亮度、高效率垂直腔面发射激光器。北旦 冃豕技术众所周知,与其他种类的激光器相比,半导体激光器具有十分突出的优点除了体积小、重量轻、转换效率高、省电等优点外,半导体激光器的制造工艺与半导体电子器件和集成电路的生产工艺兼容,因此便于与其他器件实现单片光电子集成。20世纪7 0年代初实现了半导体激光器的室温连续激射后,开创了半导体激光器发展的新时期。巨前,小功率半导体激光器已是光纤通信、光...
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