技术编号:7213110
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总的涉及半导体制造,且更具体地说,涉及一种用于半导体制造设备内的晶片盒输送的改进装置。背景技术 在半导体制造设备中,半导体加工周期时间的缩短是最为重要的。在半导体制造设备中的输送移动增加了半导体加工周期时间。因此,减少在半导体制造设备中的输送移动变得愈发地重要。用于半导体制造设备中的晶片盒输送的现有技术的装置是昂贵和低效的。更具体地说,用于半导体制造设备中的晶片盒输送的现有技术的装置包括许多晶片盒输送通常不需要的部件。例如,每个现有技术的装置包括控制...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。