技术编号：7213146
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及监测半导体制造装置性能的方法，具体地说，涉及监测晶圆托 盘平整性的方法。背景技术晶圓托盘(E-table)是扫描机台(scanner)对晶圆进行曝光加工时用来 放置晶圓的平台，这个晶圓托盘表面有无数个柱状凸起，晶圓放置在这些柱状 凸起上面，并对柱状凸起之间抽真空，使晶圓被牢固地吸附在晶圆托盘上后进 入曝光制程。如果晶圓托盘表面无数个柱状凸起不处于同一平面，会在曝光制 程中影响晶圓上图形成形的质量。目前还没有晶圓托盘平整性监测的方法。ASML现有的...
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