技术编号:7213325
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及小片接合设备,具体地说,设计的这种设备包括新颖的载片台并且采用新颖的转移装置,将小片从载片台转移到位于引线框架上的接合片。背景技术 在小片接合设备中,设有用于装载硅片的载片台。硅片通常是圆形的且由大量称之为小片的集成电路元件组成,这些小片按矩形阵列排列。在小片接合设备中,拾放装置从载片台上拾取小片并且将小片一个个地从园片转移到形成轧于引线框架上的各个接合片。接合片上有胶粘物,小片被按到接合片上。这一过程示意性地示于图1中,图中示出小片1从圆片2转...
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