技术编号:7213487
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的示例性实施例涉及一种用于去除光刻胶的组合物以及一种利用该组合物形成图案的方法。具体地说,本发明的示例性实施例涉及一种用于有效地去除光刻胶而没有剩余残留物的组合物以及一种利用该组合物形成图案的方法。背景技术 随着信息处理装置的日益广泛使用,信息处理装置中采用的半导体器件被迅速地改进,以便相应地满足尖端技术的发展。制造现今使用的半导体器件,以确保快速响应速度和高存储容量。为了获得诸如快速响应速度和高存储容量的特性,继续发展半导体制造技术,以获得更高的集...
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