技术编号:7213505
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种以规定的宽度在玻璃基板或半导体晶片等被处理物的表面涂敷光致抗蚀剂液或形成滤色片的涂敷液的狭缝喷嘴。背景技术 如专利文献1所示,狭缝喷嘴一般通过接合左右的半体而构成。具体来讲,如图5所示,在左右的半体101、102上在宽度方向形成有通孔103,通过在该通孔103中穿插并紧固螺栓104来组装狭缝喷嘴。在此状态下,在左右的半体101、102之间,形成有涂敷液的储存部105和狭缝状排出部106。此外,在专利文献2和专利文献3中也公开了相同结构的狭缝喷...
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