技术编号:7213538
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般地涉及电子器件制造,更具体地涉及用于在电子器件制造期间传输衬底的方法和装置。背景技术 已经发展出许多机械手(robot)设计用于在电子器件制造期间在处理室之间传输诸如半导体晶片、玻璃衬底等的衬底。例如,常规蛙腿式机械手在处理工具的传输室内使用,以在处理工具的装载锁定室和处理室之间传输衬底。衬底通常在传输操作期间被支撑在机械手的托板(blade)上;并且托板内可以形成凹部(pocket),以在托板运动期间(诸如旋转、延伸、收缩等期间)将衬底保持在适...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。