技术编号:7213663
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种薄膜晶体管(TFT)矩阵结构及其制造方法,特别涉及一 种由四次光刻制备的TFT矩阵结构及其制造方法。背景技术液晶显示方式是目前平板显示的主流,而有源驱动TFT LCD (薄膜晶体 管液晶显示器)则是液晶显示领域中的主导显示方式。TFT LCD的制造工艺 与传统的IC电路相兼容,显示品质优异,功耗低、重量轻、无辐射,是一种 非常友好的人机交流界面,其主要应用领域有笔记本电脑、台式计算机监视 器、工作站、工业监视器、全球卫星定位系统(GPS)、个...
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