技术编号:7213883
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关一种用于半导体厂的晶片表面量测机台(Surfscan),特别是一种有关晶片表面量测机台的散热系统。背景技术 针对降低每单位晶片制程成本的要求,半导体产业不断地搜寻提高晶片优良率及降低制造循环周期的方法。而众所皆知,要增加半导体晶片制造系统的总产量,不外乎确保每一机台稳定的晶片供给量。因此,半导体工厂的物料管理系统的处理能力就影响了在场内循环的晶片载具数量。当晶片的尺寸持续增大,为了适应尺寸及晶片箱重量的变大,对晶片的处理方式则越来越趋向于自动化。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。