技术编号:7214884
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体构思涉及一种用于传递工件的传递装置,更具体地讲,涉及一种稳固地支撑工件的传递装置。背景技术 通常,传递装置在各种工艺中被用作各种目的。在半导体制造工艺中存在一种将薄片(wafer)传递到工艺处理室的传递装置。该传递装置安装在加载/卸载室和反应室之间,并加载/卸载用于蚀刻工艺和沉积工艺的薄片,加载/卸载室提供多个薄片,反应室接收所述薄片来进行预定的工艺。引入了各种准确并快速传递薄片以及减少在各工艺之间的传递时间的方法,这些方法还能提高传递速度或者稳...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。