技术编号:7214915
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,且涉及由此制造的器件。背景技术 光刻设备是将所需图形施加到衬底上,通常为衬底的目标部分上的机器。例如,光刻设备可以用于集成电路(IC)的制造中。在这种情况下,可称为掩模或标线的构图装置可以用于产生将形成在IC单层上的电路图形。该图形可以转移到衬底(例如,硅晶片)上的目标部分(例如,包括一个或几个管芯的部分)上。通常通过在提供于衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上成像来转移图形。通常,单个衬底包括依次构图的相邻目标部分的网络。已知的光刻设备包括所谓...
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