技术编号：7214934
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体存储器及其制造方法，且更具体而言涉及。背景技术 符合减小半导体产品的尺寸并提高操作速度的当前趋势，用于半导体产品的半导体存储器可以进一步被集成以获得高的操作速度。因此，引入了具有三维结构而不是常规平面型结构的半导体存储器。具有三维结构的半导体存储器可以具有延伸到半导体衬底内的凹入型控制栅电极。具有三维结构的半导体存储器具有比具有平面型结构的半导体存储器宽的沟道区，并因此具有更快操作速度。然而，在具有三维结构的半导体存储器中，单元是按单元...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。