强电介质膜的制造方法、和强电介质电容器的制造方法技术资料下载

技术编号:7215265

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本发明涉及一种强电介质膜、强电介质电容器、强电介质存储器、压电元件、半导体元件、。 背景技术 近年来,PZT、SBT等强电介质膜或使用其的强电介质电容器、强电介质存储器装置等的研究开发盛行。强电介质存储器装置的构成可大致分成1T型、1T1C型、2T2C型、单纯矩阵型。其中,由于1T型在结构上在电容器中产生内部电场,所以保持力(数据保持)短至1个月,不能满足半导体一般要求的10年保证。1T1C型、2T2C型与DRAM的构成大致相同,为了具有选择用晶体管,可适...
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