技术编号：7217588
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种石英舟。背景技术石英舟主要用于装载硅片，并放入扩散炉中处理。传统石英舟具有四根用于定位及装载硅片的载片杆，四根载片杆包括两根高位杆和两根低位杆，高位杆和低位杆上都设有相同的卡槽，高位杆的卡槽的纵向方向垂直于水平面，低位杆的卡槽的纵向方向与高位杆的卡槽的纵向方向垂直。石英舟所装载的硅片的3个棱边分别与水平面平行或垂直。在实际应用中，操作人员装片时必须先对准高位杆的两个卡槽，再插入，然后再对准低位杆的卡槽，放下硅片，方能完成一次插片动作，此装...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。