技术编号：7218585
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及轨道式匀胶/显影机中晶片的转移机构，具体为一种匀胶显影机用机械手装置。背景技术轨道式匀胶/显影机是线性模块配置的全自动设备，任意两个相邻模块之间都需要一个晶片的转移机构，所以晶片的模块间准确快速传送就显得格外重要。为了实现不同模块之间晶片的平稳转移和取放，一个简易机械手的开发显得尤为重要。该机械手应该能完成左右旋转和上下升降两个功能，结构简单而可靠，同时造价较低，并能实现完全的国产化。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种匀胶显影机用机械手...
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