技术编号:7220104
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种光电探测器,尤其是涉及一种具有内部增益的4H-SiC基雪崩半导 体紫外光电探测器。 背景技术紫外光电探测器在军事、工业和民用方面都有很重要的应用。对紫外光线的探测目前一 般采用硅基紫外光电探测器,但是文献(1.高技术通讯,2002 104 — 109; 2.半导体光电, 2003, 24 (1) 5 — 11)指出,硅基半导体紫外测试技术可利用成熟的硅工艺,但由于硅材料 自身能带的限制,使硅基光电探测器对可见光和红外光都很敏感,因此当作为...
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