形成具有不对称电介质区域的半导体器件的方法及其结构的制作方法技术资料下载

技术编号:7220756

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本发明总的涉及半导体器件,更具体地说涉及具有非对称电介质 区域的半导体器件。背景技术诸如MOSFET(金属氧化物半导体场效应晶体管)的半导体器件 可以具有非对称的摻杂源极和漏极区以增加驱动电流并减少宇称 (parity)。在现有技术中,非对称的源极和漏极摻杂区可以具有不同的 掺杂剂或不同数量的注入区。此外,为了形成不同的摻杂剂区域,栅 电极两侧上的间隔件可以具有不同的形状或尺寸。虽然这些现有技术 允许增加驱动电流,但是为了形成这些非对称掺杂的半导体器件,要...
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