技术编号:7220766
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及作为电子设备及通信设备的滤波器使用的微型机器的制造方法以及微型机器,特别是涉及薄膜体声波谐振器(FBAR Thin Film Bulk Acoustic Wave Resonator)。背景技术作为用于构成手机等无线通信系统及无线传感系统的发射滤波器 及天线收发转换开关等电路的元件,高频滤波特性优良且能够使装置 小型化的FBAR近年来备受瞩目。作为该FBAR的构造以及制造方法,已知的方法有(1 )基板表面 加工方式、(2)基板背面Via方式、(3...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。