技术编号:7221852
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及静电保持装置以及使用此装置的静电钳(electrostatic pincette),即使取下电源也可进行长时间操作(handling )。背景技术先前以来,作为保持对象物的保持装置, 一般是使用真空夹头(vacuum chuck),但在保持薄板时存在其周边弯曲的缺点。相对于此,利用静电夹头 等静电保持装置,则可通过电极面整体的静电力而保持对象物,因此,即 使操作(保持)薄板时,周边也不会弯曲(例如,参照专利文献l、 2)。作为这样的静电保持装置,...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。