技术编号：7222388
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在高清洁环境中进行衬底的移动及处理的搬运机器人及 处理装置。本发明能够适用于进行移动及处理之际需要高清洁环境的衬底或任意一种此类物品，以下特别举出作为电子部件的半导体晶片和LCD衬底等 进行说明，不过，这只是用来例示，并没有限定本发明。背景技术半导体和LCD (液晶显示器)等衬底的制造工序中，由于在衬底表面 附着尘埃等而使制品的合格率(成品率)下降。为了防止这样的问题，衬 底的制造在所谓的净化间等高清洁环境下进行。例如，在衬底的制造中釆用进行多种...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。