压电/电致伸缩元件的制造方法技术资料下载

技术编号:7222514

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本发明涉及。技术背景被称为"隔膜元件"的压电/电致伸缩装置一直以来被用作驱动器和各种传感器。作为传感器的压电/电致伸缩装置例如如专利文献1 (日本特开平8-201265号公报)所公开的那样,用于流体的密度、浓度、粘度等的特性测定。 这种压电/电致伸缩装置利用在其所具有的振子的振幅和与振子接触的流体的 粘性阻力之间具有相关的关系而被用作传感器。在振子的振动这样的机械系中 的振动方式可转换为在电学系统的等效电路,在流体中使压电/电致伸缩装置 振动,该振子基流体...
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