技术编号：7222772
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空闸阀，特别涉及具有防反吸功能的真空闸阀背景技术半导体及LCD制造装置的工作室出口侧与真空泵之间设有真空闸 阀，该真空闸阀用于在维护配管及真空泵等附带设备时开闭管线。现有 的真空闸阀的工作方式分为手动开闭方式和自动开闭方式，自动开闭方 式有压縮空气方式或电驱动方式。真空闸阀起到将真空室或真空状态下的加工模块与大气隔离的作 用。例如用于晶片传送装置、高真空泵线(位于高真空涡轮泵/扩散泵与真 空系统之间)等。尤其在CTC系统(群集工具控制系统(...
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