技术编号:7223038
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及高洁净度环境净化中用以清除污染物的领域,更具体地说是指 一种用于净化标准机械接口盒来确保在其中的环境质量的方法,特别有关用于 半导体装置、晶圆、平面显示器和其它需要高洁净度环境产品的容器的净化, 同时,该容器接口具有制程工具或其它密封反应室。背景技术在半导体装置的制造过程中,硅晶圓接受若干制程步骤,用以建构该装置 所需的不同材料层。每一个制程步骤需要单独工具来进行工作,且晶圓必须被输送于这些制程工具之间。在晶圆上,特色尺寸(featuredime...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。