技术编号：7224406
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种例如加速传感器和陀螺传感器的传感器装置及其 制造方法。背景技术近年来，晶片级封装技术作为针对紧凑型传感器装置(如加速传感 器和陀螺传感器)的适当制造技术已经吸引了大量的关注。例如，日本专利早期公开No.2005-251898公开了 一种晶片级封装 结构200的制it技术，如图25A和25B中所示。就^i兌，传感器晶片210 和封装晶片220彼此以面对面的关系设置，如图25A中所示。传感器晶 片210具有MEMS (微电机系统)元件211和与M...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。