技术编号:7224569
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及静电卡盘用电极片以及使用该电极片的静电卡盘。技术背景在与半导体制造工艺有关的以离子注入装置、离子掺杂装置、等 离子浸没装置等为代表的各种装置中,为了吸附保持硅晶片等半导体 衬底,使用了静电卡盘。另外,在液晶制造领域,在向绝缘性衬底进 行液晶压入时使用的衬底贴合装置或离子掺杂装置等中,为了吸附保 持作为绝缘性衬底的玻璃衬底,也使用了静电卡盘。在使用静电卡盘的这些装置中,为了促进制造工序的连续化或者 自动化,需要可靠地判断静电卡盘是否保持有衬底。例如...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。