技术编号:7224575
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体上涉及一种电阻器,尤其涉及一种集成电路中的电阻器。技术背景目前用在集成电路中的电阻器的 一个实例是放在硅片之上并通过绝缘层与其绝缘的成多晶硅或金属(TaN)带状的电阻器。已知电阻器的另一个实例是在硅片上部形成的P或N型掺杂硅部分。 这些电阻器的缺点是需要硅片表面区域非常大。发明内容本发明的一个目的是提供一种占用硅片小表面区域的电阻器结构。 本发明还提供一种制造这种电阻器的方法。为了达到这些目的,本发明提供一种电阻部件,包括两个垂直电阻部分, 放置...
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