技术编号：7224661
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光照射设备(一种设备包括激光振荡器和用于将从激光振荡器输出的激光束引到照射物体的光学系统)以及用于对半 导体材料等均匀地和有效地进行激光照射的激光照射方法。而且，本发明涉及包括上述激光照射步骤的半导体装置的制造方法。技术背景在半导体装置的制造中，激光照射方法经常被使用。 一个原因是， 与使用辐射加热或传导加热的固相结晶方法相比，在激光照射方法中 处理时间能够更显著地减少。另一个原因是，容易受热变形的基板例 如玻璃基板在激光照射方法中不会受到热损...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。