技术编号:7224739
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于半导体组件制造,尤其是关于用于半导体组件制造设备的 延伸主机-没计。背景技术半导体组件的制造制程通常是以具有数个主机的工具进行,而主机中 有多个处理室及/或负载锁定室耦接环绕中央传送处理室。所述处理室各可 进行特定制程,或于许多情况中,可进行额外及/或相关制程。为确保能适当操作半导体组件制造工具,工具的处理室、负载锁定室 及其它处理室必须作维护,故需充分存取以维护处理室。然而,于某些情 况中,提供这样的存取可能会限制系统产量。发明内容于本发明第一...
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