将金属初始层置换反应成cigss-太阳能电池的黄铜矿层的方法和装置的制作方法技术资料下载

技术编号:7224795

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本发明涉及一种置换^S^方法和一种实施其的装置,用于在RTP炉的M^中以硫种或硒将^ 初始层(另也称作初^tl质)置换>& <1033-太阳能电池的黄旨层。特别是其目的在刊险薄是 太阳能模件。背景技术具有I-HI-Vl2-黄W^附层即称为Cu(InxGaLx) (Sey, Si-y)2其中0《x《l且0《y《l形5tt化^tl的薄层-太阳能电池使得该电池的加工^斷ft^率SW了希望。初始物质可以tt^有Cu和In/Ga或Cu、 Zn、 ...
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