技术编号:7224804
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对微小电子机械部件的微小电子机械机构进行气密 密封而构成的微小电气机械装置及其制造方法。背景技术近年来,包括通过应用形成半导体集成电路元件等的微细布线的加工技术而在硅晶片等半导体基板的主面形成的微小电子机械机构(MEMS (Micro Electro Mechanical System))的微小电子机械部件备受瞩目,朝 着实用化方向的开发在不断发展。作为微小电子机械机构,已经开发了各 种机构,例如可举出加速度计等传感器。并且,作为对该微小电子...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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