共振执行器的制作方法技术资料下载

技术编号:7224949

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本发明涉及一种共振执行器,更具体涉及使用压电陶瓷材料的共振执 行器。背景技术压电执行器的变位量通常由压电常数d决定,所以目前,以具有较大压电常数的Pb (Zr, Ti) 03 (钛锆酸铅,下称"PZT"。)为基础的压电 陶瓷材料的研究'幵发十分盛行。例如,由于压电执行器等电力器件利用了压电陶瓷的大振幅弹性振 动,所以非专利文献1记述了压电陶瓷的大振幅特性。上述非专利文献1报告振动速度(-振动振幅X频率)逻辑上是与 施加电场E成比例变化,在以共振频率驱动PZ...
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