技术编号：7225076
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体上涉及一种用于集成电路的方法和材料，且更明确地说，涉及一种用于 在集成电路上形成抗反射涂层的方法和材料。背景技术采用图像投影技术的图像显示器系统可由于从不希望反射光的阵列部分反射用于 投影图像的光而遭受降低的对比度(可产生的最亮白与最暗黑的比率)，所述图像显示 器系统例如为使用数字微镜装置(DMD)、可变形镜、硅基液晶等阵列的空间光调制器 (SLM)。光可从来自光调制器阵列的支撑结构、小孔、通孔等散射。所散射的光可有效 地降低最暗黑的暗度，因而降...
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